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【决胜四季度】德州: 8英寸半导体级单晶硅片通线量产 硅片生产迎来“山东造”
来源: 齐鲁网     编辑:   发布时间:2020年10月16日    
简介:

【导语】 山东头号重点项目——“集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目”一期工程,经过18个月的紧张施工建设,今天正式实现通线量产,填补了山东没有硅片生产的空白。

【同期声】 记者 赵丽娜

    我现在是在德州经济技术开发区,8英寸集成电路用硅片项目通线量产启动仪式即将在这里举行,实现量产后,德州将成为我国北方最大的半导体材料生产基地。

【同期声】 中国工程院院士 屠海令

    硅材料,是我们发展集成性半导体的最重要的一个基础材料,通过跟德州的合作,将来对我们集成电路的发展一定有很好的促进和推动作用。

【正文】 硅片由高纯度单晶硅拉制而成,直径越大技术难度越大。8英寸硅片目前是芯片市场应用最广的产品,以前70%依靠进口。该项目量产后,可实现年产276万片,将极大弥补国内缺口。

【同期声】 张果虎 山东有研半导体材料有限公司总经理

   我们这次把北京的全部专利技术团队全部带到山东来,比较短的时间实现了量产。一期的话,按我们的建设目标,产值会在10亿左右。

【正文】 “集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目”从立项开始就被确定为山东省2019年头号重点项目,总投资达到80亿元。为了加速项目落地,德州推行“双线并行、模拟审批”机制,建设项目土地手续和项目规划、施工手续同步办理,实现“拿地即开工”。

【同期声】 李爱军  德州市经济技术开发区行政审批部副部长

         现在我们最大的改革节点,提前到土地征收批复这个节点。因为征收批复到土地出让这个时间大概有4——6个月的时间。所以我们充分利用这段时间进行了模拟审批。

【正文】 8英寸硅片生产工艺非常精密,缺陷尺度要控制在纳米级,对生产条件的要求极为苛刻。车间设计相对复杂。对此,在模拟审批的基础上,德州率先尝试桩基工程和主体工程分开审批。

【同期声】 李爱军  德州市经济技术开发区行政审批部副部长

   在实施桩基工程审批以后,项目就可以进场施工了。这期间再完成主体工程的审批。这样整体流程和环节就比较紧凑。

【正文】 整个审批环节,为项目节约落地时间4个多月。然而,项目建设关键期却遭遇疫情。为了减少疫情影响,德州为项目建设开通“快速通道”,保工人返岗复工和建设材料供应,做到了疫情期间不停工。与此同时,针对项目生产特殊要求,德州对水、电、气等基础设施配套进行了全要素保障。专门为企业建设了35千伏专用变电站,实行双回路供电。

【同期声】 德州经济技术开发区科技创新部部长 赵兴

   提前进行人员的培训,保障项目技术人员的支撑;在资金方面,市政府出台了集成电路产业的支持政策,我们与市区两级融资平台积极对接,保障对有研的资金和补贴及时到位。

【正文】 从立项到投产,8英寸半导体级单晶硅片项目只用了18个月,整整比预期提前了半年。有了龙头企业带动,目前德州正规划建设270亩的半导体材料产业园区,推动半导体材料集群式发展,预计年底将有4家企业入驻。

【同期声】 德州市政府党组成员  德州经济技术开发区党工委书记 管委会主任 王震秀

     这样的话应该讲我们在最短的时间内,最有效的来解决我们整个产业链的延伸问题和产业集群的问题。我相信我们整个德州市不光是在(半导体材料)产业层次上有所提高,而且是在我们整个经济发展上会有一个快速的提升。


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